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              Ldetek品牌MultiDetek2氣相色譜儀超高純八氟環丁烷(C4F8)特殊 - 埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

              Ldetek品牌MultiDetek2氣相色譜儀超高純八氟環丁烷(C4F8)特殊氣體分析

              氟環丁烷,或全氟環丁烷,C4F8,是一種碳和氟的化合物,用于半導體材料和器件的生產和加工,例如用作沉積氣體和蝕刻劑。生產這種高純度專用氣體需要質量控制分析儀。

              LDETEK解決方案

              用我們的氣相色譜儀MultiDetek2可以實現對C4F8作為腐蝕劑的復雜電子專用氣體的生產質量的測量。

              我們的系統使用PlasmaDetek2(PED)作為檢測設備,以確保良好的選擇性和靈敏度低至亞ppb水平。

              多個清洗過的隔膜閥確保了泄漏的完整性,以保持ppb檢測系統的純度。色譜柱的選擇適合于CF氣體,以保持盡可能低的反應性和吸附性,以確保結果的穩定性。該裝置的整個fow路徑涂有惰性材料,以降低這種復雜電子氣體混合物的反應性。Ldetek品牌MultiDetek2氣相色譜儀超高純八氟環丁烷(C4F8)特殊氣體分析

                樣品組成(C4F8):


              研究結果




              八氟環丁烷(C4F8)樣品氣中痕量ppm雜質C5F8、C2F6、C3F8、CF4、CO2和C4F6的色譜圖

              Ldetek品牌MultiDetek2氣相色譜儀超高純八氟環丁烷(C4F8)特殊氣體分析


              結論

              MultiDetek2氣相色譜儀與PlasmaDetek2檢測器一起使用,可滿足此類特殊氣體應用的要求。帶有凈化隔膜閥的配置與涂層惰性氣體流動路徑和柱相結合,使系統上乘地適應這種特殊和復雜的氣體。該系統是機架式和緊湊提供一個完整的遠程控制。工業通信協議都是內置的,必須根據您的需求專門選擇。

              Ldetek品牌MultiDetek2氣相色譜儀超高純八氟環丁烷(C4F8)特殊氣體分析

              提供燃料氫氣整體解決方案和配套供應商。

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              滬公網安備 31010902002468號

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